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半導體電子顯微鏡智慧自動化方案

本方案為12吋晶圓顯微鏡檢測機台的自動化升級套件,提供巨觀技術、微觀檢測與CD量測等作業的智慧自動化方案,以提高產品品質與測量數值的精確性,並降低對人力的需求。